Savez-vous comment filtrer les boues CMP dans l’industrie des semi-conducteurs ?

La boue CMP est un consommable utilisé pour le polissage chimico-mécanique dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Selon la différence des particules abrasives, la boue CMP est principalement divisée en boue de silice, boue d'oxyde de cérium, boue d'alumine et boue de nano-diamant, etc. Les particules solides et les oxydants chimiques dans la boue CMP jouent respectivement le rôle de broyage et de dilution de la corrosion.

La boue CMP peut contenir de grosses particules pendant le transport, dans un environnement sec ou des particules tombant du système de distribution de boue. Ces grosses particules peuvent provoquer des rayures sur la surface des plaquettes semi-conductrices. Afin de réduire les micro-marques à la surface de la plaquette semi-conductrice, il est nécessaire d'installer un Système de filtration pour filtrer la boue CMP.

À l'heure actuelle, il existe principalement deux types de systèmes de filtration : le système de filtration en boucle ou par recirculation et le système de filtration au point d'utilisation (POU). La filtration en boucle ou en recirculation élimine principalement les plus grosses particules de la boue CMP, puis la boue CMP est transportée vers l'outil par la boucle de distribution. La filtration au point d'utilisation (POU) consiste principalement à éliminer les grosses particules d'impuretés présentes dans la boue lorsque la boue est distribuée sur le tampon de polissage. L'équipement du système de filtration sélectionne généralement Boîtiers de filtre en acier inoxydable, et les consommables du filtre sélectionnent généralement Cartouches filtrantes plissées et Cartouches soufflées par fusion.

Lors de la conception d'un système de filtration des boues CMP, vous devez sélectionner des consommables de filtration appropriés en fonction de la taille des particules, de la turbidité et du type de boue présente sur place. Cela peut améliorer l'efficacité du travail et réduire les coûts de filtration.