Le processus de réutilisation des eaux usées de coupe de semi-conducteurs

Les principales impuretés des eaux usées de découpe de semi-conducteurs sont les eaux usées industrielles contenant des particules de silicium solubles dans l'eau et des agents de nettoyage. Le rejet direct entraînera une pollution de l'environnement, et afin d'utiliser pleinement, rationnellement et efficacement les ressources en eau, les eaux usées de coupe sont généralement directement filtrées dans de l'eau ultrapure pour être réutilisées.

Le processus de filtration de la réutilisation des eaux usées de coupe de semi-conducteurs : 

Eau brute-filtration primaire-filtration de précision-ultrafiltration-filtration par osmose inverse-système EDI-eau ultra pure

1. Filtration primaire

Les eaux usées de coupe collectées sont pompées à travers une pompe à eau brute vers un système de filtration relié tour à tour par un réservoir de sable de quartz, un réservoir de charbon actif et un adoucisseur pour filtrer les grosses particules de silicium et certaines matières en suspension.

2. Filtration de précision

Pour une filtration plus précise du filtrat après la filtration primaire, le système de filtration de sécurité est utilisé pour éliminer les impuretés telles que les petites particules de silicium présentes dans le liquide. Il prolonge la durée de vie du système d'ultrafiltration de l'étape suivante et réduit les coûts de filtration. La cartouche Hongtek Melt Blown est généralement installée dans le système de filtration de sécurité, et les spécifications les plus largement utilisées sont les suivantes :

Cartouche PP soufflée par fusion, série NPP, 40 po, 5 microns

3.Ultrafiltration

À l'aide d'une pompe à haute pression, le filtrat est pompé dans un système d'ultrafiltration pour un traitement de filtration, afin d'éliminer une partie des particules de silicium solubles dans l'eau, de la graisse et d'autres substances présentes dans les eaux usées des détergents. Le filtrat est ensuite introduit dans le réservoir d'eau.

4. Filtration par osmose inverse

Le filtrat dans le réservoir d'eau est pompé dans le système de filtration par osmose inverse via une pompe à haute pression pour éliminer les particules de silicium solubles dans l'eau restantes ainsi que la graisse et d'autres substances présentes dans les eaux usées du produit de nettoyage, puis est chargé dans le réservoir d'eau.

5. Système EDI

Le liquide traité pour le traitement par osmose inverse est pompé dans le système EDI par une pompe de surpression et les ions contenus dans le liquide sont éliminés par une technologie d'échange d'ions. Il est ensuite chargé dans un réservoir d’eau de haute pureté pour être réutilisé en production.